“就叫华辰euv光刻机。”
江奕辰摆摆手，对取名这个想法，并没有特别大的兴趣。
只要能用，这机器就是好的。
要是不能用，叫啥高大上的名字，也是白搭。
euv，那是极紫外线光刻机（extreme ultra-violet lithography machine）的简称。
这也算是在业界约定成俗，直接叫这个，大部分人都知道这是什么类的光刻机。
“先测试曝光。”
江奕辰扬手吩咐。
当然不需要他出手，这群激动的工程师们就嗷嗷叫地开启了光刻机。
因为是测试样机，并没有啥包装设计，没有必要的装饰板一个没有，裸机看起来，有些不好看。
但总体的设计语言很不错，看起来有种工业的美感。
这，就是工业上最大的一颗明珠了吧。
机器启动，黄小婷选择了测试程序。
双工件台也开始了运转，一片晶圆被送了上去，而后进入了光刻环节。
强大的光源系统，让激光碰上了气体，激发了极紫外线光。
复杂的透镜系统，过滤或是反射掉了那些不需要的光，留下了极为纯净且带有足够能量的极紫外光。
透过掩膜版，照射在了晶圆上面的光刻胶上。
随着光线的照射，光刻胶发生了化学反应，形成微小的电路图案。guwo.org 风云小说网
这个过程需要极高的精度和稳定性，任何微小的偏差都可能导致整个芯片的失效。
江奕辰紧盯着监控屏幕，观察着每一个细节。
euv光刻机的光刻性能直接关系到芯片的质量和产量，而芯片则是现代电子设备的核心。
“看起来不错。”
他微微点头，对工程师们说道，“等会看看测量结果。”
工程师们忍着心头的激动，依然稳步开展着光刻测试。
随着时间推移，测试逐渐进入了尾声。
晶圆被送出光刻机，进入了下一个环节。
工程师们轻手轻脚地夹着去做蚀刻等工艺。
在无尘车间，昏黄的灯光下，一切都顺利进行着。
紧接着就是沉积晶体管，随后便是检测。
孔连华非常熟悉地收集和分析数据，对光刻机的性能进行评估。
“结果如何？”江奕辰问道。
孔连华脸上洋溢着难以抑制的喜悦，“江总，结果非常出色！测试结果显示，光刻精度95%以上，线宽控制误差小于3纳米，这远远超过了行业平均水平的85%精度和5纳米误差！”
这么优秀？！
这个结果让江奕辰都有些愣神。
但穿着无尘服，戴着口罩的他并做不出更多的表情。
“当真？”
“千真万确！！”
“太好了！”黄小婷顿时跳了起来。
其他工程师们也纷纷热闹的开口，
“真是难以置信，我们做到了！”有人激动地挥舞拳头。
“江总太强了！”张工程师感慨道。
“江总，这下我们可以自信地说，我们打破了阿斯麦的光刻机封锁！”钟国栋的声音因激动而微微颤抖。
辰芯微这半年来，太难了！
被江奕辰用“秘法”拯救过的二手光刻机，在尽心尽责的工作了3个月后，很快出现了难以救回的问题，光源可以说报废了，透镜系统也几乎不可用。
原本的4条二手197nm干式光刻机生产线，一下子就停了3个。
不得已，辰芯微推掉了华威等企业的芯片生产订单。
仅仅是维持着星辰手机的璇玑芯片。
经过了一年多的扩大生产，星辰手机销量快步提升，特别是璇玑2代芯片，主频提升很大。
量大管饱之下，销量出奇的好。
可销售越好，肖雅婷就越头疼。
因为芯片开始紧缺了。
如果没有光刻机，他们的芯片代工厂，将成为了笑料。
不能生产高制程的芯片，难不成用国产的老旧光刻机，生产65nm的芯片？
主频不足1ghz？
璇玑大火炉芯片？
江奕辰虽然激动，但忍住了，“大伙别激动，慢慢来，继续测试。”
后续要测试的东西，多着呢！
比如，光刻机的长时间运行稳定性、光源系统的寿命测试、以及在不同工艺条件下的适应性等，都是接下来需要重点关注的测试项目。
毕竟，一次成功，并不能代表光刻机在所有情况下都能表现出色，只有经过全面而严格的测试，才能确保光刻机的性能稳定可靠。
“孔连华，你组织一下，制定一个详细的测试计划，我们要对光刻机的各项性能进行全面评估。”
江奕辰对孔连华说道。
孔连华点头应允。
接下来几天里，工程师们轮流值守，对光刻机进行了不间断的测试。
他们仔细观察光刻机的运行状态，记录下每一个数据，对光刻机的性能进行了全面而深入的评估。
在连续72小时的高强度运行测试中，光刻机保持了光源稳定性。
极紫外光源的功率波动率控制在0.05%以内。
透镜系统的表现同样令人振奋，其透过率和均匀性均达到了设计指标，且在长时间运行后并没有出现明显衰退。
江奕辰设计的散热系统，运行得相当出色。
江奕辰意气风发，“小婷，给我下单，辰芯微要12台！”
“可，我们还没有定价呢？”黄小婷愣了下。
“定价，你觉得多少合适？”
“就目前的样机来说，至少要1.5亿元的成本。”黄小婷道，“当然，具体多少，要详细测算。”
江奕辰笑了，“这和国外的比起来，那也便宜太多了啊！”
“这倒是。”
黄小婷恍然。
钟国栋道，“把生产线建好，不说别的，同时造两台光刻机是要的。”
一台光刻机，制造完成至少需要三四个月的时间，这还包括各种精密部件的采购、组装、调试以及最终的性能验证。
考虑到‘华辰euv光刻机’是华辰微电子自主研发的首台设备，其生产周期可能会更长。
尤其是在初期，需要对每一道工序都进行严格的质量控制和技术优化。
“至于定价，给辰芯微和华威的，成本价加上适当利润价。至于以后卖出去，一台至少12亿。”江奕辰嘴角扬了起来。
黄小婷有些财迷起来，“话说，什么时候发奖金？另外，宣传呢，要不要？”
……